上海微电子装备
上海微电子装备（集团）股份有限公司（简称SMEE）是中国大陸半导体装备制造商，主要生產半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务[1]。目前最先进的光刻机制程为90nm[2]。
| 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | |
|---|---|
| 公司類型 | 上市公司 |
| 成立 | 2002年 |
| 總部 |  中国上海浦东新区张东路1525号 |
| 产业 | 半导体产业 |
| 產品 | 半导体 光刻系统 |
| 母公司 | 上海张江高科技园区开发股份有限公司 |
| 网站 | www |
參見
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