甲硅烷
甲硅烷（英語：），也稱甲烷、矽甲烷，化学式为SiH4，是一种硅烷；有时也被简称为硅烷（勿混淆）。它的结构与甲烷类似，只是用硅取代了甲烷中的碳。在室温下，硅烷是一种易燃的气体，在空气中，无需外加火源，硅烷就可以自燃。但是有学者认为，硅烷本身是很稳定的，在自然状态下，是以聚合物的状态存在的。在超过420摄氏度的环境下，硅烷会分解成硅和氢，因此硅烷可以被用来以薄膜沉積提纯硅，是半導體工業重要的特用電子級氣體之一[1]。
| 甲硅烷 | |||
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| IUPAC名 silicane | |||
| 别名 | 硅化氢 硅烷 | ||
| 识别 | |||
| CAS号 | 7803-62-5  | ||
| PubChem | 23953 | ||
| ChemSpider | 22393 | ||
| SMILES |
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| InChI |
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| InChIKey | BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYAE | ||
| Gmelin | 273 | ||
| UN编号 | 2203 | ||
| ChEBI | 29389 | ||
| RTECS | VV1400000 | ||
| 性质 | |||
| 化学式 | SiH4 | ||
| 摩尔质量 | 32.12 g mol−1 g·mol⁻¹ | ||
| 外观 | 无色气体 | ||
| 密度 | ? kg m−3（固态） 0.7 g/ml（液态） 1.342 g L−1（气态） | ||
| 熔点 | 88 K (−185°C) | ||
| 沸点 | 161 K (−112°C) | ||
| 溶解性（水） | 水解 | ||
| 结构 | |||
| 分子构型 | 正四面体 | ||
| 偶极矩 | 0 D | ||
| 热力学 | |||
| ΔfHm |
-1615 kJ mol−1 | ||
| S |
283 J mol−1 K−1 | ||
| 危险性 | |||
| 主要危害 | 毒性较低，避免暴露。可能造成红肿和发炎。极易燃烧。 | ||
| NFPA 704 |
 4
2
3
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| 闪点 | N/A | ||
| 自燃温度 | 294 K (21°C) | ||
| 相关物质 | |||
| 相关氢化物 | 甲烷、甲锗烷 | ||
| 若非注明，所有数据均出自一般条件（25 ℃，100 kPa）下。 | |||
制备
工業上，多晶塊狀硅首先在摄氏200度置於流床反應器下化合：硅與通入的氯化氢形成三氯硅烷和氫氣。反應式如下：
- Si + 3 HCl → HSiCl3 + H2
將經過蒸餾純化的三氯化硅置於有催化劑的resinous bed反應器而產生歧化反應，形成硅烷和四氯化硅。反應式如下：
- 4 HSiCl3 → SiH4 + 3 SiCl4
此反應的催化劑常以金屬鹵化物爲主，尤其是氯化鋁。
安全
矽烷在空氣中爆炸性極高，尤其與氮氣等氣體混在一起爆炸性更高，只要1%的矽烷和純氮就有可能引發爆炸。另外矽烷對眼睛具有刺激性。
參考資料
- organofunctional silanes from Degussa AG 页面存档备份，存于
- organofunctional silanes for building protection - water repellents - masonry protection - Graffiti Controll - sealer - easy to clean surface from Degussa AG 页面存档备份，存于
- http://www.siridion.com 页面存档备份，存于 chlorosilanes for telecommunication and electronic materials from Degussa
- 以硅烷化合物製備多晶矽原料
- (PDF). [2018-07-02]. （原始内容 (PDF)存档于2015-09-21）.
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